Газоанализатор водорода с малой потребляемой мощностью на базе МДП-сенсора
Abstract
A new type of sensors with Pd-Si3N4-SiO2-Si structure operating at temperatures 6 – 50 ºC is manufactured. On its basis the prototype of gas analyzer for hydrogen concentrations measurements in the range 0,2 – 4 % is developed. The absence of heating element on the sensor allowed to decrease the power consumption from 1,6 to 0,1 W.
About the Authors
А. Литвинов
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва
Russian Federation
Russian Federation
Л. Калинина
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва
Russian Federation
Russian Federation
И. Николаев
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Николаев И. Н., Литвинов А. В., Емелин Е. В. Возможности использования МДП-сенсоров в качестве чувствительных элементов газоанализаторов //Датчики и системы. 2007. № 5. С. 66.
2. Николаев И. Н., Литвинов А. В., Емелин Е. В. Механизм чувствительности МДП-сенсоров к концентрациям газов //Датчики и системы. 2006. № 7. С. 66.
3. Калинина Л. Н., Литвинов А. В., Николаев И. Н. МДП-сенсоры с различными металлическими и диэлектрическими слоями //Датчики и системы. 2011. № 2. С. 20.
Review
For citations:
, , . Metrologiya. 2012;(12):37-42. (In Russ.)
Views:
64
