Газоанализатор водорода с малой потребляемой мощностью на базе МДП-сенсора
Аннотация
Изготовлен новый тип сенсоров со структурой Pd-Si3N4-SiO2-Si, работающих при температурах 6 – 50 ºС. На его основе разработан макет газоанализатора для измерений концентраций водорода в диапазоне 0,2 – 4 %, в котором отсутствие нагревательного элемента на сенсоре позволило снизить потребляемую мощность с 1,6 до 0,1 Вт.
Об авторах
А. В. Литвинов
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва
Россия
Россия
Л. Н. Калинина
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва
Россия
Россия
И. Н. Николаев
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва
Россия
Россия
Список литературы
1. Николаев И. Н., Литвинов А. В., Емелин Е. В. Возможности использования МДП-сенсоров в качестве чувствительных элементов газоанализаторов //Датчики и системы. 2007. № 5. С. 66.
2. Николаев И. Н., Литвинов А. В., Емелин Е. В. Механизм чувствительности МДП-сенсоров к концентрациям газов //Датчики и системы. 2006. № 7. С. 66.
3. Калинина Л. Н., Литвинов А. В., Николаев И. Н. МДП-сенсоры с различными металлическими и диэлектрическими слоями //Датчики и системы. 2011. № 2. С. 20.
Рецензия
Для цитирования:
Литвинов А.В., Калинина Л.Н., Николаев И.Н. Газоанализатор водорода с малой потребляемой мощностью на базе МДП-сенсора. Метрология. 2012;(12):37-42.
Просмотров:
63
