ИЗМЕРИТЕЛЬНО-КАЛИБРОВОЧНАЯ УСТАНОВКА НА БАЗЕ БОЛЬШЕПОЛЬНОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ ФИЗО
Abstract
The description of measurement and calibration installation for high-precision non-contact optical control based on Fizeau wide-field interferometry is presented. The unit is designed to control the flatness error of precision optical surfaces. The software allowing to restore the shape of the optical part by interferograms analysis is considered.
About the Authors
Г. Вишняков
сероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Russian Federation
Russian Federation
С. Золотаревский
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Russian Federation
Russian Federation
Д. Новиков
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Кривовяз Л. М., Пуряев Д. Т., Знаменская М. А. Практика оптической измерительной лаборатории. М : Машиностроение, 1974.
2. Малакара Д. Оптический производственный контроль /Пер. с англ. Е. В. Мазуровой и др. М.: Машиностроение, 1985.
3. Коломийцев Ю. В. Интерферометры. М.: Машиностроение, 1976.
4. Скоков И. В. Оптические интерферометры. М.: Машиностроение, 1969.
5. Бекетова А. К. и др. Топографическая интерферометрия фазовых объектов. М.: Наука, 1979.
6. Ковалев А. А., Сухоруков К. А. Восстановление формы волнового фронта при больших изменениях фазы //Измерительная техника. 2004. № 4. С. 17 - 19.
7. Белл Р. Введение в Фурье-спектроскопию. М.: Мир, 1975.
8. Ценсор Я. Методы реконструкции изображений, основанные на разложении в конечные ряды // ТИИЭР. 1983. Т. 71. №№ 3. С. 148 - 160.
Review
For citations:
, , . Metrologiya. 2012;(12):17-24. (In Russ.)
Views:
52
