Оценка неопределенности измерений межплоскостных расстояний в монокристаллическом кремнии с использованием лабораторного рентгеновского дифрактометра
Abstract
The estimation of uncertainty of lattice spacing measurements in silicon by means of laboratory diffractometer Bruker D8 DISCOVER with use of certified reference material NIST SRM-2000 is presented.
About the Authors
В. Гавриленко
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Russian Federation
Russian Federation
М. Ермакова
Московский физико-технический институт
Russian Federation
Russian Federation
А. Заблоцкий
Московский физико-технический институт
Russian Federation
Russian Federation
А. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Russian Federation
Russian Federation
П. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Russian Federation
Russian Federation
М. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Бодунов Д. С. И др. Стандартный образец для калибровки просвечивающих электронных микроскопов // Измерительная техника. 2012. № 10. С. 16–18; Bodunov D. S. e. a. Standard sample for calibration of transmission electron microscopes nanometrology // Measurement Techniques. 2013. V. 55. N 10. P. 1137–1140.
2. P. F. Fewster. Absolute lattice parameter measurement // J. Mat. Sci. 1999. V. 10. P. 175–183.
3. Bonse U., Hart M. An X-Ray interferometer //Appl. Phys. Lett. 1965. V. 6. P. 155–156.
4. ГССД 252-2011. Энергия характеристического рентгеновского излучения при переходах в электронных оболочках атомов химических элементов с атомным номером от 4 до 100. Таблица стандартных справочных данных.
5. Becker P. History and progress in the accurate determination of the Avogadro constant // Rep. Prog. Phys. 2001. V. 64. P. 1945–2008.
Review
For citations:
, , , , , . Metrologiya. 2013;(10):26-31. (In Russ.)
Views:
74
