Оценка неопределенности измерений межплоскостных расстояний в монокристаллическом кремнии с использованием лабораторного рентгеновского дифрактометра
Аннотация
Дана оценка неопределенности результатов измерений межплоскостных расстояний в кремнии на лабораторном дифрактометре Bruker D8 DISCOVER с использованием стандартного образца NIST SRM-2000.
Об авторах
В. П. Гавриленко
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
М. А. Ермакова
Московский физико-технический институт
Россия
Россия
А. В. Заблоцкий
Московский физико-технический институт
Россия
Россия
А. Ю. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
М. Н. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН
Россия
Россия
Список литературы
1. Бодунов Д. С. И др. Стандартный образец для калибровки просвечивающих электронных микроскопов // Измерительная техника. 2012. № 10. С. 16–18; Bodunov D. S. e. a. Standard sample for calibration of transmission electron microscopes nanometrology // Measurement Techniques. 2013. V. 55. N 10. P. 1137–1140.
2. P. F. Fewster. Absolute lattice parameter measurement // J. Mat. Sci. 1999. V. 10. P. 175–183.
3. Bonse U., Hart M. An X-Ray interferometer //Appl. Phys. Lett. 1965. V. 6. P. 155–156.
4. ГССД 252-2011. Энергия характеристического рентгеновского излучения при переходах в электронных оболочках атомов химических элементов с атомным номером от 4 до 100. Таблица стандартных справочных данных.
5. Becker P. History and progress in the accurate determination of the Avogadro constant // Rep. Prog. Phys. 2001. V. 64. P. 1945–2008.
Рецензия
Для цитирования:
Гавриленко В.П., Ермакова М.А., Заблоцкий А.В., Кузин А.Ю., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Оценка неопределенности измерений межплоскостных расстояний в монокристаллическом кремнии с использованием лабораторного рентгеновского дифрактометра. Метрология. 2013;(10):26-31.
Просмотров:
70
