Электронно-зондовое определение углерода в условиях образования пленки поверхностных загрязнений

The method of division of contribution into analytical signal of intensity from carbon in the analyzed microvolume and carbon in the film formed on the sample surface in the process of analysis under electron beam exposure is worked out. The way of carbon determination in the sample at formation on its surface of electron stimulated hydrocarbon contamination by means of extrapolation of carbon analytical signal dependence from time of sample staying in scanning microscope or electron probe microanalyser cameras to initial time moment is suggested

углеводородные пленка и загрязнения, растровая электронная микроскопия, электронно-зондовый микроанализ, погрешность определения элементов, интенсивность аналитических линий, ZAF-коррекция, hydrocarbon film and contaminations, scanning electron microscopy, electron probe microanalysis, elements determination error, analytical lines intensity, ZAF-correction

1. Hirsch P. e. a. Contamination in a Scanning Electron. Microscope and the Influence of Specimen Cooling // Scanning. 1994. V. 16. P. 101 – 110.

2. Жданов Г. С. О скорости углеводородного загрязнения объектов в микрозондовых системах // Поверхность. 1983. № 1. С. 65 – 72.

3. Жданов Гл. С., Верцнер В.Н. // Доклады АН СССР. 1967. Т. 176. С. 1040 – 1043.

4. Reimer L. Transmission Electron Microscopy. Berlin: Springer, 1998.

5. Маренков О. С., Комков Б. Г. Таблицы полных массовых коэффициентов ослабления характеристического рентгеновского излучения. Л., 1978.