Электронно-зондовое определение углерода в условиях образования пленки поверхностных загрязнений
Аннотация
Разработан способ разделения вклада в аналитический сигнал интенсивности от углерода, содержащегося в анализируемом микрообъеме и в образующейся на поверхности пробы в процессе анализа пленке загрязнений под воздействием электронного пучка. Предложен путь определения углерода в образце в условиях образования на его поверхности углеводородного загрязнения, стимулированного электронами, с помощью экстраполяции зависимости аналитического сигнала углерода от времени нахождения образца в камере растрового микроскопа или электронно-зондового микроанализатора к начальному моменту времени.
Ключевые слова
углеводородные пленка и загрязнения,
растровая электронная микроскопия,
электронно-зондовый микроанализ,
погрешность определения элементов,
интенсивность аналитических линий,
ZAF-коррекция,
hydrocarbon film and contaminations,
scanning electron microscopy,
electron probe microanalysis,
elements determination error,
analytical lines intensity,
ZAF-correction
Об авторах
А. Ю. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
Т. А. Куприянова
Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН, Москва
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Московский физико-технический институт, Москва
Россия
Россия
М. . Н Филиппов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Россия
Россия
Н. В. Швындина
ООО «Системы для микроскопии и анализа», Москва
Россия
Россия
В. Я. Шкловер
ООО «Системы для микроскопии и анализа», Москва
Россия
Россия
Список литературы
1. Hirsch P. e. a. Contamination in a Scanning Electron. Microscope and the Influence of Specimen Cooling // Scanning. 1994. V. 16. P. 101 – 110.
2. Жданов Г. С. О скорости углеводородного загрязнения объектов в микрозондовых системах // Поверхность. 1983. № 1. С. 65 – 72.
3. Жданов Гл. С., Верцнер В.Н. // Доклады АН СССР. 1967. Т. 176. С. 1040 – 1043.
4. Reimer L. Transmission Electron Microscopy. Berlin: Springer, 1998.
5. Маренков О. С., Комков Б. Г. Таблицы полных массовых коэффициентов ослабления характеристического рентгеновского излучения. Л., 1978.
Рецензия
Для цитирования:
Кузин А.Ю., Куприянова Т.А., Тодуа П.А., Н Филиппов М., Швындина Н.В., Шкловер В.Я. Электронно-зондовое определение углерода в условиях образования пленки поверхностных загрязнений. Метрология. 2012;(11):24-33.
Просмотров:
51
