Определена метрологическая специфика микромеханических приборов (датчиков угловой скорости и акселерометров). Показано, что требования к их метрологическим характеристикам существенно зависят от решаемых задач. Наиболее высокие требования предъявляются при работе датчиков в составе инерциальных модулей, когда приведение погрешностей к результатам измерений включает операции интегрирования. Для этих приложений сформулированы подходы к нормированию возрастающих погрешностей после интегрирования.
The metrological specifics of micromechanical instruments (sensors of angular speed and accelerometers) are determined. It is shown that requirements to their metrological characteristics significantly depend on solved tasks. The highest demands are made during the operation of sensors as a part of inertial modules when reduction of errors to results of measurements includes integration operations. For these appendices approaches to rationing of increasing errors after integration are formulated.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.