Рассмотрен новый нелинейно-оптический лазерный профилометр поверхности с микрометровым пространственным разрешением. Показано, что при разрешении спектрометра 0, 23 нм пространственное разрешение предлагаемого метода может достичь 22,5 мкм.
A new nonlinear optical laser surface profilometer with micron spatial resolution is considered. It is shown that at the spectrograph resolution 0,23 nm the spatial resolution of the proposed method can achieve the value 22,5 mm.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.