metrolМетрологияMetrologiya0132-47132712-9071ВНИИМСmetrol-285Research ArticleЛИНЕЙНЫЕ И УГЛОВЫЕ ИЗМЕРЕНИЯИнтерференционный профилометр для измерения формы поверхности отражающих объектовМинаевВ. Л.minaev@vniiofi.ruВишняковГ. Н.noemail@neicon.ruВсероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, МоскваRussian Federation201207022023092023Copyright © ВНИИМС, 20232023ВНИИМСВНИИМСhttps://metrol.elpub.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://metrol.elpub.ru/jour/article/view/285

Рассмотрен интерференционный компьютерный профилометр ПИК-30М для измерения высоты профиля поверхности отражающих объектов в микро- и нанодиапазонах, радиуса кривизны сферических зеркал 2000 – 7000 мм. Диаметр объектов не более 30 мм.

Interference computer profilometer PIC-30M developed by All-Russian Research Institute of Optical and Physical Measurements (VNIIOFI) is presented. Profilometer is designed to measure the height of the surface profile of reflective objects in the micro- and nanoscale, the curvature radius of the spherical mirror from 2000 to 7000 mm. The diameter of the objects not exceeding 30 mm.

профилометрформа поверхностирадиус кривизныprofilometersurface shapephase steps methodradius of curvatureReferencesМинаев В. Л., Ломакин А. Г. Интерференционный компьютерный профилометр // Фотометрия и ее метрологическое обеспечение: Тезисы докл. XVIII науч.-техн. конф. М., 2005. С. 123.Минаев В. Л., Ломакин А. Г. Интерференционный компьютерный профилометр // Фотометрия и ее метрологическое обеспечение: Тезисы докл. XVIII науч.-техн. конф. М., 2005. С. 123.Ломакин А. Г., Минаев В. Л. Интерференционная профилометрия зеркально-отражающих поверхностей // Измерительная техника. 2006. № 12. С. 16 – 18;Ломакин А. Г., Минаев В. Л. Интерференционная профилометрия зеркально-отражающих поверхностей // Измерительная техника. 2006. № 12. С. 16 – 18;Lomakin A. G., Minaev V. L. Interference profiling of specularly reflecting surfaces //Measurement Techniques. 2006. V. 49. N 12. P. 1194 – 1197.Lomakin A. G., Minaev V. L. Interference profiling of specularly reflecting surfaces //Measurement Techniques. 2006. V. 49. N 12. P. 1194 – 1197.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.