metrolМетрологияMetrologiya0132-47132712-9071ВНИИМСmetrol-284Research ArticleНАНОМЕТРОЛОГИЯНелинейность развертки растрового электронного микроскопаАльзобаВ. В.fgupnicpv@mail.ruГавриленкоВ. П.noemail@neicon.ruКузинА. Ю.noemail@neicon.ruМитюхляевВ. Б.noemail@neicon.ruРаковА. В.noemail@neicon.ruТодуаП. А.noemail@neicon.ruФилипповМ. Н.fil@igic.ras.ruНаучно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, МоскваRussian FederationМосковский физико-технический институт, ДолгопрудныйRussian FederationИнститут общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова, МоскваRussian Federation201207022023091519Copyright © ВНИИМС, 20232023ВНИИМСВНИИМСhttps://metrol.elpub.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://metrol.elpub.ru/jour/article/view/284

увеличении максимальное относительное отклонение от среднего значения шага тестовой структуры для использованного микроскопа не превышает 0,4 %.

the maximum relative deviation from the mean value of the pitch of test structure does not exceed 0,4%.

растровый электронный микроскопрельефная тестовая шаговая структуранелинейность разверткиscanning electron microscoperelief test pitch structurescan nonlinearityReferencesГОСТ Р 8.628–2007. ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерами выбору материала для изготовления.ГОСТ Р 8.628–2007. ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерами выбору материала для изготовления.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.