metrolМетрологияMetrologiya0132-47132712-9071ВНИИМСmetrol-262Research ArticleНАНОМЕТРОЛОГИЯМетодология характеризации рельефа 3D-поверхности по ее профильным и топографическим параметрам в нанометровом диапазонеЗолотаревскийС. Ю.s.zolotarevskiy@vniims.ruКононоговС. А.noemail@neicon.ruЛысенкоВ. Г.noemail@neicon.ruТабачниковаН. А.noemail@neicon.ruЛевинГ. Г.noemail@neicon.ruВсероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, МоскваRussian Federationсероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, МоскваRussian Federation20130702202302412Copyright © ВНИИМС, 20232023ВНИИМСВНИИМСhttps://metrol.elpub.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://metrol.elpub.ru/jour/article/view/262

Приведен аналитический обзор материалов, посвященных вопросам обеспечения единства измерений параметров и характеристик рельефа и шероховатости поверхности в микро- и нанометровом диапазонах. Выявлены существенные различия в топографической и профильной оценках вероятностных характеристик параметров рельефа поверхности. Проведено сравнение необходимого числа измерений для получения заданной точности и степени достоверности микротопографических и профильных параметров.

The analytical survey of materials on the uniformity of measurements assurance and on the surface relief and roughness characteristics in micro- and nanometer ranges is carried out. The significant distinctions in topographic and profile estimations of probability characteristics of surface relief parameters were revealed. The comparison of the number of measurements necessary for achieving the given accuracy with the credibility value of microphotographic and profile parameters is carried out.

обеспечение единства измеренийпрофилометрияшероховатостьтекстура поверхностимикротопографические параметрыensuring unity of measurementsprofilometriyaroughnesssurface texturemicrotopographical parametersReferencesАрутюнов П. А. и др. Феноменологические характеристики для анализа шероховатости и микрорельефа поверхности материалов в сканирующей зондовой микроскопии //Методы и техника измерений. 1999. № 6. C. 89 – 93.Арутюнов П. А. и др. Феноменологические характеристики для анализа шероховатости и микрорельефа поверхности материалов в сканирующей зондовой микроскопии //Методы и техника измерений. 1999. № 6. C. 89 – 93.Белов В. К. Параметры шероховатости поверхностей и их контроль: Учеб. пособие. Магнитогорск: Изд-во МГМИ, 1990.Белов В. К. Параметры шероховатости поверхностей и их контроль: Учеб. пособие. Магнитогорск: Изд-во МГМИ, 1990.ГОСТ Р 8.629–2007. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки.ГОСТ Р 8.629–2007. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки.Ковальчук М. В., Тодуа П. А. Нанотехнологии, метрология, стандартизация и сертификация в терминах и определениях. М.: Техносфера, 2009.Ковальчук М. В., Тодуа П. А. Нанотехнологии, метрология, стандартизация и сертификация в терминах и определениях. М.: Техносфера, 2009.Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии: Уч. пособие / Под ред. В. Н. Крутикова. М.: Логос, 2011.Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии: Уч. пособие / Под ред. В. Н. Крутикова. М.: Логос, 2011.Leach R. Fundamental Principles of Engineering Nanometrology Elsevier Inc., 2010.Leach R. Fundamental Principles of Engineering Nanometrology Elsevier Inc., 2010.Линник В. П. Прибор для интерференционного исследования микропрофиля поверхности – «микропрофилометр» // ДАН СССР. 1945. Т. 47. № 9. С. 656 – 657.Линник В. П. Прибор для интерференционного исследования микропрофиля поверхности – «микропрофилометр» // ДАН СССР. 1945. Т. 47. № 9. С. 656 – 657.Хусу А. П., Витенберг Ю. Р., Пальмов В. А. Шероховатость поверхностей теоретико-вероятностный подход. М.: Наука, 1975.Хусу А. П., Витенберг Ю. Р., Пальмов В. А. Шероховатость поверхностей теоретико-вероятностный подход. М.: Наука, 1975.Бараш В. Я., Резников А. Л. Применение образцовых вибраторов для метрологической аттестации контактных средств измерений шероховатости поверхности //Измерительная техника. 1983. № 8 С. 43 – 45.Бараш В. Я., Резников А. Л. Применение образцовых вибраторов для метрологической аттестации контактных средств измерений шероховатости поверхности //Измерительная техника. 1983. № 8 С. 43 – 45.Дунин-Барковский И. В., Карташова А. H. Измерения и анализ шероховатости, волнистости и некруглости поверхности. М: Машиностроение, 1978.Дунин-Барковский И. В., Карташова А. H. Измерения и анализ шероховатости, волнистости и некруглости поверхности. М: Машиностроение, 1978.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.