metrolМетрологияMetrologiya0132-47132712-9071ВНИИМСmetrol-259Research ArticleНАНОМЕТРОЛОГИЯАнализ методов сверхразрешения в оптической интерференционной микроскопииБулыгинФ. В.noemail@neicon.ruЗолотаревскийС. Ю.s.zolotarevskiy@vniims.ruКононоговС. А.noemail@neicon.ruИлюшинЯ. А.noemail@neicon.ruЛевинГ. Г.noemail@neicon.ruЛясковскийЛ. .noemail@neicon.ruФедеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (РОССТАНДАРТ)Russian FederationВсероссийский научно-исследовательский институт метрологической службыRussian FederationВсероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измеренийRussian Federation201307022023082230Copyright © ВНИИМС, 20232023ВНИИМСВНИИМСhttps://metrol.elpub.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://metrol.elpub.ru/jour/article/view/259

Рассмотрены методы свехразрешения в оптической интерференционой микроскопии при измерениях параметров рельефа и текстуры поверхности в нанометровом диапазоне. Показано, что разрешающая способность микроскопа определяется не аппаратными свойствами самого прибора, а точностью измерения выходного сигнала.

The article is devoted to the methods of superresolution in the optical interference microscopy applied to the measurement parameters of topography and surface texture in the nanometer range. It is shown that the resolution of the microscope is determined not by the properties of the hardware unit, but accuracy of measurement of the output signal.

интерферометрразрешающая способность микроскопасвехразрешениехарактеризация текстуры поверхностиinterferometerresolution of the microscopesuperresolutioncharacterization of surface textureReferencesБорн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970.Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970.Виноградова М. Б., Руденко О. В., Сухоруков А. П. Теория волн. М.: Наука, 1990.Виноградова М. Б., Руденко О. В., Сухоруков А. П. Теория волн. М.: Наука, 1990.Вишняков Г. Н., Левин Г. Г., Минаев В. Л. Томографическая микроскопия трехмерных фазовых объектов в пространственно-некогерентном свете // Оптика и спектроскопия. 2003. Т. 95. № 1. С. 142–146.Вишняков Г. Н., Левин Г. Г., Минаев В. Л. Томографическая микроскопия трехмерных фазовых объектов в пространственно-некогерентном свете // Оптика и спектроскопия. 2003. Т. 95. № 1. С. 142–146.Илюшин Я. А. и др. Численное моделирование процедуры восстановления рельефа оптической поверхности с учетом рассеяния излучения на наноструктурах // Метрология. 2010. № 2. С. 3–12.Илюшин Я. А. и др. Численное моделирование процедуры восстановления рельефа оптической поверхности с учетом рассеяния излучения на наноструктурах // Метрология. 2010. № 2. С. 3–12.Илюшин Я. А. и др. Моделирование процессов рассеяния оптического излучения нанообъектами с конечными диэлектрической проницаемостью и проводимостью // Метрология. 2010. № 1. С. 10–22.Илюшин Я. А. и др. Моделирование процессов рассеяния оптического излучения нанообъектами с конечными диэлектрической проницаемостью и проводимостью // Метрология. 2010. № 1. С. 10–22.Левин Г. Г. и др. Определение наноперемещений объекта по оптическому фазовому изображению // Измерительная техника. 2010. № 7. С. 38–42; Levin G. G. е. а. Measurement of nanomovements of an object from the optical phase image // Measurement Techniques. 2010. V. 53. N. 7. P. 782–788.Левин Г. Г. и др. Определение наноперемещений объекта по оптическому фазовому изображению // Измерительная техника. 2010. № 7. С. 38–42; Levin G. G. е. а. Measurement of nanomovements of an object from the optical phase image // Measurement Techniques. 2010. V. 53. N. 7. P. 782–788.Левин Г. Г. и др. Моделирование процессов рассеяния оптического излучения наноразмерными структурами // Метрология. 2009. № 12. C. 7–13.Левин Г. Г. и др. Моделирование процессов рассеяния оптического излучения наноразмерными структурами // Метрология. 2009. № 12. C. 7–13.Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии: Учеб. пособие / Под ред. В. Н. Крутикова. М.: Логос, 2011.Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии: Учеб. пособие / Под ред. В. Н. Крутикова. М.: Логос, 2011.Gustafsson, M. G. L, Agard D. A., Sedat J. W. I5M: 3D-widefield light microscopy with better than 100 nm axial resolution // Journal of Microscopy. 1999. V. 195. Part 1. P. 10–16.Gustafsson, M. G. L, Agard D. A., Sedat J. W. I5M: 3D-widefield light microscopy with better than 100 nm axial resolution // Journal of Microscopy. 1999. V. 195. Part 1. P. 10–16.Hell S. W. e. a. Diffraction-unlimited three-dimensional optical nanoscopy with opposing lenses // Nature Photonics. 2009. V. 3. P. 381–387.Hell S. W. e. a. Diffraction-unlimited three-dimensional optical nanoscopy with opposing lenses // Nature Photonics. 2009. V. 3. P. 381–387.Morgan S. P. е. а. Interferometric optical microscopy of subwavelength grooves// Optics Communications. 2001. V. 187. P. 29–38.Morgan S. P. е. а. Interferometric optical microscopy of subwavelength grooves// Optics Communications. 2001. V. 187. P. 29–38.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.