metrolМетрологияMetrologiya0132-47132712-9071ВНИИМСmetrol-136Research ArticleНАНОМЕТРОЛОИЯОценка неопределенности измерений межплоскостных расстояний в монокристаллическом кремнии с использованием лабораторного рентгеновского дифрактометраГавриленкоВ. П.fgupnicpv@mail.ruЕрмаковаМ. А.noemail@neicon.ruЗаблоцкийА. В.noemail@neicon.ruКузинА. Ю.noemail@neicon.ruТодуаП. А.noemail@neicon.ruФилипповМ. Н.noemail@neicon.ruНаучно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуумаRussian FederationМосковский физико-технический институтRussian FederationИнститут общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАНRussian Federation2013070220230102631Copyright © ВНИИМС, 20232023ВНИИМСВНИИМСhttps://metrol.elpub.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://metrol.elpub.ru/jour/article/view/136

Дана оценка неопределенности результатов измерений межплоскостных расстояний в кремнии на лабораторном дифрактометре Bruker D8 DISCOVER с использованием стандартного образца NIST SRM-2000.

The estimation of uncertainty of lattice spacing measurements in silicon by means of laboratory diffractometer Bruker D8 DISCOVER with use of certified reference material NIST SRM-2000 is presented.

межплоскостные расстояниярентгеновская дифрактометриянеопределенность результата измеренияпрослеживаемостьlattice spacingX-ray diffractometrymeasurements uncertaintytraceabilityReferencesБодунов Д. С. И др. Стандартный образец для калибровки просвечивающих электронных микроскопов // Измерительная техника. 2012. № 10. С. 16–18; Bodunov D. S. e. a. Standard sample for calibration of transmission electron microscopes nanometrology // Measurement Techniques. 2013. V. 55. N 10. P. 1137–1140.Бодунов Д. С. И др. Стандартный образец для калибровки просвечивающих электронных микроскопов // Измерительная техника. 2012. № 10. С. 16–18; Bodunov D. S. e. a. Standard sample for calibration of transmission electron microscopes nanometrology // Measurement Techniques. 2013. V. 55. N 10. P. 1137–1140.P. F. Fewster. Absolute lattice parameter measurement // J. Mat. Sci. 1999. V. 10. P. 175–183.P. F. Fewster. Absolute lattice parameter measurement // J. Mat. Sci. 1999. V. 10. P. 175–183.Bonse U., Hart M. An X-Ray interferometer //Appl. Phys. Lett. 1965. V. 6. P. 155–156.Bonse U., Hart M. An X-Ray interferometer //Appl. Phys. Lett. 1965. V. 6. P. 155–156.ГССД 252-2011. Энергия характеристического рентгеновского излучения при переходах в электронных оболочках атомов химических элементов с атомным номером от 4 до 100. Таблица стандартных справочных данных.ГССД 252-2011. Энергия характеристического рентгеновского излучения при переходах в электронных оболочках атомов химических элементов с атомным номером от 4 до 100. Таблица стандартных справочных данных.Becker P. History and progress in the accurate determination of the Avogadro constant // Rep. Prog. Phys. 2001. V. 64. P. 1945–2008.Becker P. History and progress in the accurate determination of the Avogadro constant // Rep. Prog. Phys. 2001. V. 64. P. 1945–2008.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.